Sanayi ortamları, laboratuvarlar veya diğer tehlikeli ortamlarda kimyasal buharlara karşı mücadele ederken, kimyasal buhar koruma için bir yüz maskesi emniyet için çok önemlidir. Bu maskeler, farklı kimyasal maddelere uygun özel filtrelerle donatılmıştır. Örneğin, belirli kimyasallarla doymuş aktif kömür gibi adsorbanları içeren kartüçler, klor, amonyak ve formaldehit gibi zehirli buharları etkili bir şekilde nötralize edebilir ve kaldırabilir. Maskelerin çevresinde güçlü bir mühür bulunur ki, bu sayede kimyasal yüklü hava girişini engeller. Ayrıca, kimyasal aşınmaya karşı dayanıklı malzemelerden yapılmışlardır; bu da onların sert kimyasal ortamlarda bütünlüklerini sağlar. Bazı modeller, giyeni temiz hava beslemek için havayı çekip süzerek aktif olarak işleyen güçlendirilmiş havalandırma sistemine sahiptir; bu da nefes almaya olan çabayı azaltır ve korumayı artırır. Bu tür bir yüz maskesi, emniyetli bir engel sağladığı için kimyasallarla çalışan işçiler için esastır, bu da solunum hasarının ve diğer sağlık sorunlarının riskini en aza indirir.